반응형 박막공정1 [반도체 공정] 차세대 반도체 기술, 원자층 증착 (Atomic Layer Deposition, ALD)이란? <1. 기본 원리> 반도체 공정에서 박막 증착법인 원자층 증착 (Atomic Layer Deposition, ALD)에 대해 이해하기. 요새 뉴스를 보면 반도체 공정에서 칩 미세화 경쟁이 불타오르고 있는 걸 볼 수 있습니다. 반도체 칩이 점점 작고 복잡한 구조를 이룰수록, 복잡한 기판 상에 얇고 균일하게 박막을 증착(deposition)할 수 있는 기술이 필수적입니다. 이때, 장점을 발휘할 수 있는 기술이 원자층 증착법입니다. 여러가지 증착 방법 중에 원자층 증착 (ALD)이 많은 인기를 끌고 있는 이유는 원자층 증착법을 사용하면 아주 얇은 고품질의 박막을 만들 수 있기 때문입니다. 원자층 증착은 말 그대로 원하는 물질을 타겟 기판 위에 원자층 단위로 쌓아 올리는 증착 방법으로, 물질을 한층 한층 쌓아 올릴 수 있기 때문에.. 2022. 6. 6. 이전 1 다음 반응형
